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音圈马达(音圈电机)光刻机助力制造“中国芯”

时间:2018/11/16  点击数:5551
 

音圈马达(音圈电机)光刻机助力制造“中国芯”。前段时间传得沸沸扬扬的中兴事件给我国人民敲响了警钟,让国人明白了芯片技术的重要性,而美向中国打响贸易战,抵制中兴也让国人觉醒,核心技术受制于人总要被牵着鼻子走。也许很多人会说中兴不行我们不是有华为么,华为自研的麒麟处理器很强悍,但音圈马达(音圈电机)小编想善意提醒大家,只有华为还远远不够。

光刻机是芯片制造不可缺少的重要设备,目前我国无法制造出高精度的对准系统,故国产光刻机与对美、德、荷兰产的光刻机相比,小巫见大巫。在过去因为“瓦森纳协定”,我国被限制购进国外的先进光刻机。但 2018年,中芯、紫光集团长江存储、华虹集团华力微电子均获得荷兰设备大厂ASML光刻机支援。音圈马达(音圈电机)小编觉得,自此,“中国芯”将正式拉开帷幕。

那么音圈马达(音圈电机)与光刻机又有什么关系呢?光刻机掩模台系统中音圈马达(音圈电机)运动工况分为扫描运动和定位运动,其中扫描运动主要完成硅片曝光处理,该运动对定位精度以及速度稳定性有较高要求,在稳定基础上追求时间的优化。

音圈马达(音圈电机)是基于洛伦兹力原理的一种直流直线电机,拥有良好的静、动态性能和控制特性。由于其无需传动机构即可获得直线运动,因此消除了传动机构带来的机械磨损,在位置伺服控制的基础上可以实现精密的位置伺服,被引进运用于具有高精密要求的的光刻机。

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音圈马达(音圈电机)

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