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HPL 系列直线电机模组

产品名称:HPL 系列直线电机模组

产品型号:HPL-170LM

产品备注:高精密直线电机平台

Design Features

■ Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
■ 定位精度达(直线误差修正后):±1µm(Travel≤200mm)
■ 稳定且优良的轴系提供了平滑运动,经算法优化可以获得小的动态跟随误差
■ 线性表现优良的光栅反馈系统,可以获得point-to-point位置精度

■ 标准的模块化设计,灵活的单轴/多轴解决方案
■ 整体密封结构,轻量化、高刚性结构设计,低成本,高性能
HPL-170LM直线电机平台采用无铁芯直线电机驱动,平台行程从100至600mm。该平台拥有优良的设计,严苛的轴系装配工艺,但成本低,这使得HPL-170LM直线电机平台得以广泛适用于需要成本效益、精密解决方案的工业应用,如半导体晶圆检测、微电子组件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。

Construction Features

HPL-170LM直线电机平台采用7075#航空铝经一体化加工成型,同时减少因导轨和铝主体不同的热膨胀系数引起的折弯效应。导轨对称分布在基座两侧,减少两种不同金属热膨胀带来的影响,同时高刚性的基座将负载情况下的偏转、滚摆降到较小。
导轨钢球通过与球保持器配合使用,沿经精密研磨加工而成的4列滚动面进行滚动,实现了4方向等负荷、低重心、高刚性、高精度、平滑稳定的直线运动,出色的负载能力、长寿命、低噪音。

Linear Motor Drive

HPL-170LM直线电机平台采用了高效率的无铁芯直线电机作为驱动部件。该直驱平台拥有较高的速度、较高的加速度和稳定的精度表现。由于采用零间隙传动,可减少相关结构部件的磨损,同时减少结构部件数量。因此,HPL-170LM直线电机平台相对于丝杆驱动,结构更加紧凑,效率更高。

High Performance

HPL-170LM直线电机平台集成具有较好线性表现的开放式增量光栅系统,可以提供较好的的分辨率、重复性和稳定性。稳定的光学零位,保障双向回零的重复性和可靠性。经激光干涉仪标定补偿,可以轻易获得好的定位精度。