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同茂直线电机HPL高精密直线平台

时间:2017-3-9  点击数:1209
     同茂直线电机自主研发生产的高精密直线电机平台采用同茂电机的无铁芯U型槽直线电机驱动,平台行程从100至600mm,平台采用进口7075#航空铝经一体化加工成型,同时减少因导轨和铝主题不同的热膨胀系数引起的折弯效应;平台集成具有较好的线性表现的开放或增量光栅系统,可以提供亚纳米级的分辨率、重复性和稳定性。
     稳定的光学零位,保障双向回零的重复性和可靠性。经激光干涉仪标定补偿,可以轻易获得理想的定位精度,定位精度高达±1μm(Travel≤200mm)。

     同茂直线电机轻松实现您对于高精密定位的要求,高精密直线电机平台需要优良的设计,严苛的轴系装配工艺,具有较高性能,这使得HPL-LM系列直驱平台得以广泛适用于需要成本效益、精密解决方案的工业应用,如半导体晶圆检测、微电子组件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。

同茂直线电机HPL高精密直线平台