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昆山同茂爆款推出XYZ HPL高精密直线电机平台

时间:2017-3-14  点击数:1597
      昆山同茂自主研发生产的XYZ HPL/SPL高精密直线电机平台行程达到100mm-600mm,定位精度高达(直线误差修正后):±1μm(Travel≤200mm),稳定且优良的轴系提供了较好的平滑运动,经算法优化可以获得极小的动态跟随误差。
      突出表现:
      一、线性表现优良的光栅反馈系统,可以获得较好的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性。
      二、标准的模块化设计,灵活的单轴/多轴解决方案。整体密封结构,轻量化、高刚性结构设计,低成本,高性能。
      三、HPL直线电机平台采用进口无铁芯直线电机驱动,平台行程从100至600mm。该平台拥有优良的设计,严苛的轴系装配工艺,具有较高性能,但成本低,这使得HPL系列直线电机平台得以广泛适用于需要成本效益、精密解决方案的工业应用,如半导体晶圆检测、微电子组件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。
      四、HPL直线电机平台采用进口7075#航空铝经一体化加工成型,同时减少因导轨和铝主体不同的热膨胀系数引起的折弯效应。导轨对称分布在基座两侧,减少两种不同金属热膨胀带来的影响,同时高刚性的基座将负载情况下的偏转、滚摆降到较小。
      五、导轨钢球通过与球保持器配合使用,沿经精密研磨加工而成的4列滚动面进行滚动,实现了4方向等负荷、低重心、高刚性、高精度、平滑稳定的直线运动,出色的负载能力、长寿命、低的噪音。

      此外,HPL XYZ高精密平台由于采用标准平台进行叠加组合应用,因此可以根据实际需要分别对行程、负载、定位精度、双向重复定位精度进行选择,可选范围宽、组合灵活、成本低等特点,是一款模块化的直驱产品使用化的平台。

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