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同茂线性马达谈光刻机“大佬”的新举措

时间:2020/2/20  点击数:5772

同茂线性马达谈光刻机“大佬”的新举措。即使是光刻机领域的“小白”,你也肯定听过ASML的大名,这家荷兰半导体设备制造商有着强大的护城河,在行业中处于垄断的地位。


它的合作客户同样声名远播,这让同茂线性马达小编想到了一句俗语“物以类聚,人以群分”。据悉,2019年,ASML公司出售了26EUV光刻机(包括NXE:3400B及改进型的NXE:3400C两款),主要用于台积电、三星的7nm2020年开始量产的5nm工艺。


5nm工艺已经让其他公司望尘莫及,但据同茂线性马达小编所知,ASML当下正在致力于研发NA 0.55的新一代EUV光刻机EXE:5000系列,主要面向后3nm时代,如2nm甚至1nm工艺。


虽然目前同茂还未跟ASML这样的企业建立合作,但同茂造线性马达已在国产光刻机中有所应用,像上海微电子就是咱同茂的合作客户,上海微电子自主开发的光刻机就用到了咱同茂的线性马达。

同茂线性马达

昆山同茂十多年来一直在不断改进复杂制造过程的效率与生产力,它推出的同茂线性马达、线性模组、线性滑台、音圈马达、音圈模组等产品已经倍受国内外客户信赖。


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