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同茂线性马达谈名企研发新型硬核光刻机之举

时间:2022/6/17  点击数:3073

CNBC报道称,世界闻名的先进光刻机智造商荷兰AMSL公司正在研发一种新版本的EUV光刻机。


同茂线性马达小编了解到,该新型EUV光刻机被称为 High NA(高数值孔径),目前正在开发当中,AMSL公司预估将在2023年完成开发并为个别客户提供先行体验,以便芯片制造商可以较快验证并学会如何使用。然后,客户可以在 2024 年和 2025 年利用High NA进行自己的研发工作。从 2025 年开始,它们很可能用于大批量制造。


众所周知,光刻机是芯片生产的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响,只有EUV光刻机可以生产出5纳米以下的芯片晶圆,而要生产出更为复杂的芯片,就得靠High NA


说到光刻机,线性马达正成为光刻机不可或缺的零部件之一,线性马达因具备高速度、高精度、高平稳性等特征,被大力引入光刻机中作为驱动装置。

同茂线性马达

同茂线性马达由昆山同茂电子有限公司自研自产自销,同茂线性马达在光刻机领域已有实际应用案例,像上海微电子(国产光刻机制造桑)就是咱同茂的战略合作伙伴。


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