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晶圆切割的好搭档直线电机，为什么会这样说呢，因为晶圆切割机是一种非常精密的设备，对精度要求是非常之高，而没有直线电机，可能精度根本达不到，下面同茂电机从它的原理来为你进行分析：
1.晶圆切割机的结构：控制系统、运动系统、光学系统、水冷系统、排烟和吹气保护保护系统等组成，
2.原理：选用工业激光器作为光源，采用直线马达精密定位平台、CCD影像监视定位、对半导体晶圆进行切割；
3.晶圆切割特点：重复定位精度与固定定位精度和允许定位的平稳性要求非常高；直线电机工作台定位精度可达2um，因此在运动驱动中得使用直线驱动伺服驱动普通交流伺服和丝杆的构架；
4.晶圆切割机是非常精密的一种设备，它的主轴转速在30,000至 60,000rpm之间，由于晶粒与晶粒之间距很小而且晶粒又相当脆弱，因此晶圆切割机的精度要求非常高，在晶圆切割机上，对运动控制平台有非常高要求是对于切割台面平面度的要求，小于10um，如果不理想的平面度会造成激光在平面的焦距不一致，这样切割区域深浅不一致；
5.同茂直线电机在能够满足精度要求的前提下，可以按照客户的要求进行各种平台的组合，以实现高精度的运动控制。
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