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直线电机(直线马达)在精密加工中的角色，越来越多精密加工厂家在使用直线电机(直线马达)，因为直线电机(直线马达)结构简单、适合高速直线运动、初级绕组利用率高、无横向边缘效应、容易克服单边磁拉力问题、易于调节、适应性强以及高加速度这八大优势，所以其在高精密加工中的应用，具有十分显著的优势。
超精密加工是制造业中的前沿科学，在工作尤其是国防工业中起着举足轻重的作用，巡航导弹的惯性制导装置陀螺仪，雷达的关键器件波导管，卫星仪表上的精密轴承、大型集成电路等无不涉及到超精加工。在超精机床中，为进行机床加工误差的在线补偿，以提高加工的形状精度；为进行某些特殊的非轴对称表面的加工，都需要微量进给装置，高精度微量进给装置现已成为超精机床的重要关键装置。
目前，直线电机(直线马达)在精密微进给装置中有着广泛的应用，其原理就是利用电致伸缩效应。电致伸缩效应的变形量和电场强度的平方成正比。它能实现高刚度的无间隙位移；分辨力可达1.0~2.5nm；且变形系数大；有很高频率，其响应时间达100μs。为增大行程，一般电机都是由多片晶体串叠在一起粘合使用，尺蠖式压电陶瓷电机则是通过三个单独控制的管状陶瓷压电器件组成，其中A、B作径向伸缩，以便夹紧和松开电机轴，而器件C作轴向伸缩，使电机轴产生轴向位移，实现步进直线运动。
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